在黃光微影製程後續會接著去做加工製程，做完加工製程要把光阻去掉卻常發生怎去也去不乾淨。
然而一般鹼性剝膜液是藉著將還遺留在外面的酸性官能基處作為攻擊對象，做切斷聚合物片狀剝離。
也有用有機鹼做溶解型剝離。
但也可能還是剝不乾淨。
如果兩者都還有殘留，不妨就直接把金屬微蝕掉吧!!
另外很多人還喜歡用TMAH，希望注意下方報導
http://laws.ilosh.gov.tw/ioshcustom/Download/Download.ashx?type=SafetyMessageArticles&id=1353
請也為您的勞工想一想，也請讓員工知道他該有的安全準備與危險性。
有些藥劑該避則避，別說你什麼都不知道!!!
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